麒麟实验室的设备也已经到位，前前后后总共花四个月的时间，一共花掉了曹莽3.2亿软妹币，比原来预期还多了两千万。
柯振的父母又介绍了一批化工博士过来，曹莽给了他们一个聚碳酸酯类衍生物分子的公式。
“曹总，这个是？”孔令儿疑惑问道。
“这是我从国外一个实验室买回来的光刻胶配方，聚碳酸酯类衍生物的分子公式，我希望你们能够复刻出来。”曹莽回道。
聚碳酸酯类衍生物：又称为断链型光刻胶。
这种光刻胶的主链上含有易解离的碳酸酯基团，在euv照射下聚合物分解为co2和很多低分子量片段，这些片段能够增加在显影液中溶解性能，显影时被除去。
这类光刻胶具有很高的分辨率和低的线边缘粗糙度。
“现在的光刻胶不都是采用聚对羟基苯乙烯树脂吗？”孔令儿皱眉问道。
“那是深紫外光刻机用的光刻胶，你们这次研发的是极紫外光的刻胶，国外已经开始研究极紫外光光刻机了，我们在研究深紫外光刻机已经没有意义。”曹莽回道。
“我们会尽快将它复刻出来的。”孔令儿点头道。
深紫外光刻胶的制造技术和专利如今都在欧美手上，生产深紫外光刻胶必须要绕过他们的专利，想要绕过他们的专利得付出巨大代价，没有个二三十亿怕是研究不出来。
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