这一次,他是在新阳副总经理邓运兴的陪同下一起见证了验证平台的启用。
从合资到建设到设备采购再到现在,庐州的这个ArF光刻胶验证平台的启用可谓光速,很多步骤都是在同步进行的,而最核心的光刻机甚至是除EUV之外最先进的NXT:2000i。
邓运兴现在就负责这个合资厂,之前从冰芯这边得知消息,听到2000i要入场只觉心中很懵,虽然“只是”DUV,但ASML还没正式推向市场,这怎么就搞来了……
等到真正见到这台机器,他才知道了更多的原委,这是从中芯那边匀过来的。
邓运兴至此才知道江湖上的那句话不是虚言。
中芯冰芯,同气连枝!
虽说这样的机器在中芯那边也很宝贵,但还是没捂热就给掏出来了,由此可见两家的关系之密切。
只要方总发话,谁也不能撼动两家同气连枝的关系,中芯也不行!
除了ASML的机器,新阳庐州厂还有采购尼康的NSR系列光刻机,也极其先进,但和前者相比就不以为奇了。
核心设备华丽,涂胶显影、烘烤、清洗、环境控制等设备和系统也全都是最先进的。
据邓运兴所知,这就是国内独一份。
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